极紫外掩模清洗(关于极紫外掩模清洗的简介)
发布时间：2023-11-13 03:10:14来源：
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1、 极紫外掩模需要定期清洗。
2、去除表面的颗粒和污斑。
3、包括吸附的碳、氧化的斑痕、有机物等。
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