导读 大家好,极紫外掩模清洗,关于极紫外掩模清洗的简介很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!1、 极紫外掩模需要定期清洗。2、去除表面
大家好,极紫外掩模清洗,关于极紫外掩模清洗的简介很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、 极紫外掩模需要定期清洗。
2、去除表面的颗粒和污斑。
3、包括吸附的碳、氧化的斑痕、有机物等。
本文关于极紫外掩模清洗的简介就讲解完毕,希望对大家有所帮助。
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3、包括吸附的碳、氧化的斑痕、有机物等。
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